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“极端制造系列丛书”编撰委员会
“极端制造系列丛书”编撰委员会办公室
丛书序
前言
第1章 概述
 1.1 引言
 1.2 高速精密机械系统的技术挑战
 1.3 高速精密机械的优化设计与运动控制
  1.3.1 高速执行机构的结构动态优化与运动规划
  1.3.2 高速精密运动平台的结构动态优化与运动控制
 1.4 本书主要内容
 参考文献
第2章 机械系统动态优化设计理论基础
 2.1 引言
 2.2 机械系统动力学建模基础
  2.2.1 运动学分析
  2.2.2 分析力学基础
  2.2.3 浮动参考坐标法
 2.3 结构动态优化基础
  2.3.1 结构动态优化分类
  2.3.2 结构动态优化的数学模型
  2.3.3 结构动态优化求解方法
 2.4 小结
 参考文献
第3章 高速精密机械系统变加速运动规划
 3.1 引言
 3.2 经典运动规划曲线生成理论与问题分析
  3.2.1 经典运动规划曲线生成理论基础
  3.2.2 经典运动规划的参数设计方法
 3.3 变加速非对称S型运动规划方法
  3.3.1 经典S型运动规划曲线的扩展
  3.3.2 变加速非对称S型运动规划生成方法
 3.4 高速急停振动抑制的运动过程优化
  3.4.1 高速急停过程的时间最优运动规划问题
  3.4.2 高速急停运动过程的时间最优模型
 3.5 实验验证
  3.5.1 键合头执行机构的变加速非对称S型运动规划与振动抑制
  3.5.2 高精度阵列操作的运动规划与快速定位
 3.6 小结
 参考文献
第4章 高速精密操作机构动态优化设计
 4.1 引言
 4.2 高速操作机构惯性能时空分布动态优化方法
  4.2.1 标准等效静态载荷法
  4.2.2 基于惯性能最优空间分布的结构动态优化
  4.2.3 基于惯性能最优时域分布的运动轨迹优化
 4.3 动态优化正问题快速计算方法
  4.3.1 频率响应快速计算方法
  4.3.2 时域响应快速计算方法
 4.4 动态优化模型高性能求解方法
  4.4.1 拓扑优化数学模型
  4.4.2 用于拓扑优化的修改梯度投影法
  4.4.3 算法比较
 4.5 固晶机摆臂案例分析
  4.5.1 结构动态优化
  4.5.2 运动轨迹规划
 4.6 小结
 参考文献
第5章 高速精密运动平台动态优化设计
 5.1 引言
 5.2 宏微复合运动平台结构设计
  5.2.1 驱动与导向分离的宏微复合单轴平台
  5.2.2 共定子双驱动的宏微复合单轴平台
  5.2.3 二轴宏微复合定位平台
 5.3 宏微复合平台动力学建模
  5.3.1 单轴平台动力学建模
  5.3.2 二轴宏微复合平台动力学建模
  5.3.3 宏微复合运动平台中柔性铰链的力学模型
 5.4 运动平台简化模型的解析近似解
  5.4.1 对称保守振子的解析近似解
  5.4.2 非对称保守振子的解析近似解
 5.5 运动平台动力学响应快速求解方法
  5.5.1 组合近似法基本原理
  5.5.2 基于组合近似法的模态重分析
  5.5.3 基于组合近似法的动力学重分析
  5.5.4 算例验证
 5.6 宏微复合平台动态优化
  5.6.1 运动规划
  5.6.2 结构优化
 5.7 小结
 参考文献
第6章 宏微复合平台运动控制方法与实现
 6.1 引言
 6.2 宏微复合平台动力学模型简化与辨识
  6.2.1 动力学模型简化
  6.2.2 动力学模型参数辨识
 6.3 宏微复合平台自抗扰控制器设计
  6.3.1 自抗扰控制器
  6.3.2 控制参数整定
  6.3.3 实验分析
 6.4 扩张状态观测器辅助的模型预测控制算法
  6.4.1 扩张状态观测器辅助的模型预测控制
  6.4.2 实验验证
 6.5 考虑平台非线性特性的增益调度控制算法
  6.5.1 宏微复合运动平台控制器和滤波器设计
  6.5.2 实验验证与讨论
 6.6 小结
 参考文献
第7章 高速精密运动位置光栅测量技术
 7.1 引言
 7.2 绝对--增量式宏微栅线复合测量原理
  7.2.1 绝对-增量式复合光栅测量原理
  7.2.2 绝对-增量式复合光栅结构设计
  7.2.3 绝对-增量式复合光栅编码方法
  7.2.4 绝对-增量式复合光栅读/解码的实现
 7.3 里程碑--增量式宏微栅线复合测量原理
  7.3.1 里程碑-增量式复合光栅测量原理
  7.3.2 里程碑-增量式复合光栅结构设计
  7.3.3 里程碑-增量式复合光栅编码方法
  7.3.4 里程碑-增量式复合光栅读/解码实现
 7.4 增量光栅码道高速计数与电路细分方法
  7.4.1 基于增量光栅信号的高速计数方法
  7.4.2 基于增量光栅信号的电路细分方法
 7.5 宏微复合光栅尺测量误差分析与补偿方法
  7.5.1 误差的来源及分类
  7.5.2 基于硬件的误差控制
  7.5.3 基于算法的误差补偿
 7.6 宏微复合光栅尺测量实验
 7.7 小结
 参考文献
第8章 典型高速精密运动装备开发
 8.1 引言
 8.2 高速IC固晶机
  8.2.1 高速IC固晶机的结构组成
  8.2.2 高速IC固晶机执行机构设计
  8.2.3 高速IC固晶机的性能与特点
 8.3 引线键合机
  8.3.1 引线键合机的结构组成
  8.3.2 引线键合机执行机构设计
  8.3.3 引线键合机的性能与特点
 8.4 硅晶圆改质切割设备
  8.4.1 硅晶圆改质切割设备的结构组成
  8.4.2 硅晶圆改质切割设备XY平台设计
  8.4.3 硅晶圆改质切割机的性能与特点
 8.5 小结
 参考文献
后折页
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